Je nach Stoffart und Porenräumen von Materialien können Baustoffe in unterschiedlichem Maß Feuchte aufnehmen. Die Aufnahme von Feuchte kann außerdem von der Temperatur und im Baustoff eingelagerten Salzen abhängig sein. Wegen dieser komplexen Abhängigkeiten gibt es keine physikalisch eindeutige Definition eines trockenen Bauteils. Vielmehr wird ein Bauteil dann als trocken bezeichnet, wenn beim Trocknen bei einer bestimmten Temperatur praktisch keine Gewichtsveränderung mehr eintritt (Darr-Wäge-Methode, „Trocknen bis zur Massekonstanz“) als Laboruntersuchung.
Neben der Feuchte beeinflusst allerdings auch der Ionengehalt des Baustoffs die elektrische Leitfähigkeit. Dabei stellt der Gehalt an gelösten Salzen im Baustoff eine wesentliche Störgröße der dielektrischen Feuchtemessung dar. Insbesondere im Altbau ist die Anwendung dieser Messmethode kritisch zu hinterfragen.
Weitere Störungen entstehen durch elektrochemische Phänomene im Elektrolyten, insbesondere in der Nähe der Elektroden. Schließlich ist der Einfluss von Übergangswiderständen und -kapazitäten zwischen Elektroden und Material, insbesondere bei unebenen Materialoberflächen, zu nennen, durch die weitere Fehler entstehen können.